全景图 PV RMS
小分区检测信息
地型图分类(提高制程良率)
小分区-点与点高低差纠错研发利器
双光譜共焦-测基础晶圆片-厚度 TTV/PV/LTV(局部厚度变化) 翘曲度(WARP) 可使用面积(Usable area)